LASERTEC 膜厚不均匀检查装置 MR300
品牌:LASERTEC 规格:高解像光学系により、イメージセ...
用途:レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均...
LASERTEC 光刻工艺检测装置 LX330
品牌:LASERTEC 规格:独自の光学系による高感度CD測定...
用途:リソグラフィ工程におけるウェハ面内・ショット内・チ...
LASERTEC 光刻工艺检测装置 LX530
品牌:LASERTEC 规格: 高S/N撮像信号により高感度CD測...
LASERTEC TSV背面抛光过程测量装置 BGM300...
品牌:LASERTEC 规格:独自の干渉計とIR光学系の組み合...
用途:TSV裏面研磨プロセス前のSi厚さ/TSV深さの測定 TSV裏...
LASERTEC 晶圆凸点检测测量装置 BIM300
品牌:LASERTEC 规格: コンフォーカル光学系による高...
用途:TSVプロセスにおけるバンプの高さ、幅、形状の測定と...
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